WF6-d kasutatakse peamiselt toorainena metallvolframi keemilise aurustamise (CVD) protsessis elektroonikatööstuses. WF6-st valmistatud WSi2-d saab kasutada juhtmestikumaterjalina suuremahulistes integraallülitustes (LSI) ning seda saab kasutada ka pooljuhtelektroodide, fluori ja keemiliste ainete, polümerisatsioonikatalüsaatorite, optiliste materjalide jms toorainena.